我公司生產(chǎn)的TXRS型不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備，主要用于處理太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)行業(yè)以及PECVD化學(xué)氣相沉積工藝所產(chǎn)生的廢氣。

本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。在進(jìn)氣方面采用壓縮空氣加新風(fēng)進(jìn)氣口雙進(jìn)風(fēng)形式，提高產(chǎn)品運(yùn)行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動(dòng)補(bǔ)水相結(jié)合的方法，風(fēng)機(jī)采用一用一備形式，這些工藝特點(diǎn)使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時(shí)配備了氮?dú)馊肟冢哟罅嗽O(shè)備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來(lái)的粉塵通過(guò)排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經(jīng)權(quán)威部門(mén)實(shí)測(cè)，客戶(hù)單位硅烷(SiH4)去除率≥99.99%，氨氣(NHs)以及其它水溶性氣體的凈化率高達(dá)99.99%。